微量水分析儀主要可分為四種類型，分別是：電解法、阻容法（電容法）、光纖法以及冷鏡法，每一種都有其各自的特點，其中：

1、阻容法（電容法）：利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(yōu)點是響應速度非?？?，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現(xiàn)場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩(wěn)定度大大提高，通過對傳感器響應曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。

2、電解法：五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的電極組成，根據(jù)具體應用來選擇電極材質(zhì)（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現(xiàn)的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的zui終產(chǎn)物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質(zhì)，因此從樣氣中吸收水分，通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過儀器內(nèi)部信號放大器處理，然后顯示并數(shù)據(jù)讀出。此原理用來測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數(shù)會同磷酸發(fā)生化學反應的氣體除外。

3、光纖法：該技術(shù)是20世紀末發(fā)展起來的一種新型測量技術(shù)，將微量水分析技術(shù)提高到了一個新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數(shù)的氧化硅和氧化鋯構(gòu)成的層疊結(jié)構(gòu)，通過先進的熱固化技術(shù)，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm, 0.28nm的水分子可以滲入?？刂破靼l(fā)射出一束790－820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數(shù)，從而引起波長的變化，該變化量與介質(zhì)的水分含量成相應的比例關(guān)系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質(zhì)的露點及水分含量。

4、冷鏡法：讓樣氣流經(jīng)露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結(jié)露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優(yōu)點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結(jié)露’造成測量誤差。