“超純氣體”一詞是在1964年全國超純氣體測試年會上定義的即凡氣體純度達5個“9”（ 99.999%）以上，總雜質(zhì)為10x10-6V/V（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。但五十年的發(fā)展已經(jīng)改變了這一定義；已經(jīng)把5個“9”氣體稱為高純氣，而稱6個“9”以上純度氣體才為超純氣。純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質(zhì)的差減法計算，因而氣體純度分析實際是對氣體中微量或痕量的雜質(zhì)氣體檢測。

　　色譜檢測器小檢測濃度取決于，一是檢測器的敏感度。敏感度愈高檢測器檢測的雜質(zhì)濃度愈低；二是色譜峰的峰寬愈小（柱效愈高），檢測雜質(zhì)氣濃度愈低。具體對于小的峰峰高必須是噪聲的兩倍信號。任何色譜儀檢測器的小檢測值就是小檢測濃度。儀器操作者都應知道，低于此濃度的值（沒有出峰）不應是“0”，而應是小于小檢測濃度值。理論上也認為只能接近于“0”而不能等于“0”。對于連續(xù)監(jiān)測的數(shù)字顯示儀所顯示的“0”也應這樣看，因為顯示不能表示出小于它小檢測濃度的值來。因而所有儀器在檢測雜質(zhì)時，如果未能測出含量，則給報告中，該組分含量就應寫出小于小檢出濃度值，而不能寫“0”。

　　每臺氣相色譜儀分析高純氣體必須做到有相應被測雜質(zhì)氣的敏感度和較好重復性。我們認為在保證上述條件和滿足本底要求條件下，儀器的定量誤差主要取決于標準氣的準確度（可靠性）。對于痕量成分重復測量的相對誤差往往比常量分析大的多。對0.1—10ppm濃度的檢測重復性（相對誤差），在10—20%的相對誤差也是較好的；PPT級的雜質(zhì)氣，可以允許有一個數(shù)量級之差。在定量方法上都采用了“外標法”，即使用標準氣校正。在實驗室可以做到用多種配制標準氣方法較正，能得到較高的可靠性。而在實際使用中難度很大，因此在標準氣的配制上要求是很嚴格的。